Применение нержавеющих трубок в полупроводниковой промышленности Нержавеющие трубки, особенно высокочистые бесшовные трубки из нержавеющей стали (316L, 316L EP, BA), являются незаменимым ключевым базовым материалом на полупроводниковых производственных предприятиях (Fab), выполняя главным обра...
Применение нержавеющих трубок в полупроводниковой промышленности
Нержавеющие трубки, особенно высокочистые бесшовные трубки из нержавеющей стали (316L, 316L EP, BA), являются незаменимым ключевым базовым материалом на полупроводниковых производственных предприятиях (Fab), выполняя главным образом задачи по транспортировке сверхчистых газов, химических реагентов и ультрачистой воды.
Производство полупроводниковых чипов чрезвычайно чувствительно к загрязнениям:
1.Загрязнение частицами (Particle)
2.Загрязнение ионами металлов (Metal Contamination)
3.Загрязнение влагой (Moisture)
4.Загрязнение органическими веществами (TOC)
Даже примеси нанометрового уровня могут привести к браку всей пластины.
Поэтому система транспортировки должна обладать:
1.Сверхвысокой чистотой
2.Чрезвычайно низким уровнем выделения примесей
3.Коррозионной стойкостью
4.Отсутствием образования частиц
5.Способностью к долговременной стабильной работе
И электрополированные (EP) трубки из нержавеющей стали 316L в настоящее время являются основным решением.
Основные сценарии применения:
1.Системы подачи специальных газов
2.Системы ультрачистой воды
3.Системы подачи химических реагентов
4.Вакуумные системы
Стандарты на нержавеющие трубки, широко применяемые в полупроводниковой промышленности
| Наименование | Стандарт |
| Материал | 316L |
| Стандарт | ASTM A269 |
| Стандарт сверхвысокой чистоты | SEMI F20 |
| Обработка поверхности | BA, EP |
| Шероховатость | Ra ≤ 0,25 мкм |
| Способ сварки | Орбитальная сварка |
| Класс чистоты | Класс 100 / ISO 5 |
Химический состав нержавеющей стали Марка стали C Si Mn P S Cr Ni Mo Ti SUS304 ≤0,08 ≤1,00 ≤...
Сердечник из нержавеющей стали для силовых аккумуляторных батарей Назначение: В области силовых а...
Комплектующие из нержавеющей трубки для ультразвукового хирургического гемостатического скальпеля...
Нержавеющая трубка для медицинской фрезы Головка фрезы (режущая часть): Изготавливается из нержав...
Аустенитная нержавеющая сталь（Austenitic Stainless Steel）благодаря своей превосходной коррозион...
Тубус для введения эндоскопа (жёсткий эндоскоп) Назначение: Основной корпус эндоскопа, внутри кот...
Химический состав нержавеющей стали Марка стали C Si Mn P S Cr Ni Mo Ti SUS304 ≤0,08 ≤1,00 ≤...
Толстостенная капиллярная трубка — Области применения: Контрольно-измерительные приборы Сценарии ...
Химический состав нержавеющей стали Марка стали C Si Mn P S Cr Ni Mo Ti SUS304 ≤0,08 ≤1,00 ≤...
В области автомобильной промышленности: 1.Сценарии применения: Широко применяются в таких ключевы...
Игла из нержавеющей стали — высокоточная тонкостенная капиллярная игла Назначение: Является основ...
Специальная трубка для сшивающего аппарата Назначение: Важнейший компонент трубчатого медицинског...
Химический состав нержавеющей стали Марка стали C Si Mn P S Cr Ni Mo Ti SUS304 ≤0,08 ≤1,00 ≤...
Химический состав нержавеющей стали Марка стали C Si Mn P S Cr Ni Mo Ti SUS304 ≤0,08 ≤1,00 ≤...
